新增8英寸级高端微纳加工与测试新设备，上海交大AEMD平台二、三期启动运行

中国青年报客户端讯（何奕辰 中青报·中青网记者 王烨捷）11月26日，上海交通大学先进电子材料与器件平台（以下简称“AEMD平台”）迎来十周年庆，同时平台正式宣布开放二期、三期运行。

AEMD平台创建于2012年，一期净化工程于2014年建成并于同年11月正式向校内外用户开放服务。据介绍，AEMD二期、三期新增8英寸级高端微纳加工与测试新设备。新平台将有效增强其在有源电子、光学材料与器件、三维异质集成封装、微纳光学、先进纳米材料与器件等研究领域的支撑服务能力，助推上海交大微纳加工能力从“无源器件”提升到“有源器件”加工水平。