在产业一线逐梦！上大学子在产教融合中学真知、长本领

“纸上得来终觉浅，绝知此事要躬行。”对于青年大学生来说，要想将知识了解得更加透彻、掌握得更加熟稔，最好的方法就是将理论灵活运用于实践。上海大学微电子学院聚焦培养集成电路领域的卓越工程师以及解决集成电路“卡脖子”关键技术的高端领军人才，致力于产教结合，着力培养一大批“来之能战”的制造工艺人才。

 这个暑期，上海大学微电子学院的十余位研究生在上海微技术工业研究院“超越摩尔”8英寸线实习，在产业一线的实践中发现问题、解决问题，收获新理论、新认识、新技能，提升科研水平和专业本领。

争做“来之能战”的制造工艺人才

上海大学微电子学院自2019年11月成立以来，就致力于与产业结合，依托上海微技术工业研究院国内首条8英寸MEMS中试线，建立契合产业需求的“四个一”培养模式（即：一次芯片设计、一次工艺流片、一次封装测试、一个创新项目），提升学生工程实践能力，打造集成电路高质量人才培养基地。

上海微技术工业研究院首席技术官、上海大学微电子学院院长古元冬表示，“芯片制造是中国大陆集成电路产业的短板，我们学院要通过产教融合，培养一大批‘来之能战’的制造工艺人才。”为强化学生的专业能力培养，2021年6月，上海微技术工研院将“超越摩尔”8英寸研发中试线每年四分之一的总机时资助给上海大学，用于微电子学院教学实践，为期5年。

“超越摩尔”8英寸研发中试线是国内首条、国际领先的微机电系统（MEMS）中试线，一年的运营费近1亿元，上海微技术工业研究院相当于每年投入价值2000多万元的机时，用于微电子学院本科生和研究生的培养。

2021年暑期，微电子学院选拔了十余名研究生，每周5天在上海微技术工业研究院的“超越摩尔”8英寸中试线实习，学习集成电路制造工艺，并在导师指导下参与创新项目。博士研究生杨继业在实习中感慨道：“我的硕士是在德国德累斯顿工业大学读的，德国大学非常重视产教融合，但我觉得我们学院的产教融合程度超过了德国大学。”

 

在产业一线积累研发经验

不经风雨，长不成大树；不到一线，触摸不到“工艺的真谛”。微电子学院硕士研究生季宇成所在小组的5位同学每天都会穿着无尘服在洁净室里实习，在8英寸线的机台前操作设备。实习期间，每天都有客户送来的需要做定制化工艺研发的片子，这也让研究生们更加近距离接触到产业界，同学们在工研院的工艺工程师团队的带领下，积极学习工艺技能，提高自主研发的能力。

通过实习，同学们不仅对8英寸线的黄光区、薄膜区、刻蚀区、扩散区等四大区域有所了解，也跟着研究人员学习每个区域的设备、工艺流程及其原理。

在完成各个区域的初步学习后，同学们会结合研究方向选择一个领域进行深入研究。季宇成选择的是位于黄光区的晶圆级键合工艺研究，他说，“我们会在这里待到毕业，这样不仅完成了硕士学业，还相当于有了两年的一线实战经验。”通过不间断的学习，季宇成已对8英寸线的黄光区、薄膜区、刻蚀区、扩散区等四大区域有了一定了解，跟着师傅学习每个区域的设备、工艺流程及其原理。作为研究生联聘导师的8英寸线副总经理王诗男博士，要求季宇成等同学每天晚上写学习日志。无论工作多么忙，导师都会看这些日志并给出指导意见。

 

超给力投入让同学有满满的获得感

为支持研究生参与创新项目，在上海微技术工业研究院的大力支持下，微电子学院的研究生在产业一线孜孜以求，凭着一股子韧劲在研发的道路上快速成长。

博士研究生杨继业已在8英寸线工作一年，负责制备氮化铝薄膜，将这种材料沉积到晶圆上后，可制造声学传感器、5G射频芯片等器件。制备出高性能的氮化铝薄膜，是导师古元冬教授交给杨继业的任务。经过一年摸索，杨继业取得了研发上的突破。而突破的背后，离不开工研院的大力投入。

杨继业谈到，“我在德国读硕士的3年间，导师总共给我8片晶圆来研究工艺，一片晶圆的成本是500—600元，而工研院一次性就给了我25片晶圆。另外为了研发高质量氮化铝薄膜的生长工艺，我已用掉200多片晶圆，终于找到了比较好的工艺窗口。”杨继业颇有成就感地说，“工研院的传感器设计专家告诉我，沉积氮化铝薄膜和电极的晶圆质量很高，做出来的声学传感器性能很好。”制备出单层氮化铝薄膜后，杨继业打算研发双层氮化铝材料和5G射频芯片，为产业界提供高质量的集成电路材料和器件。

“吾心信其可行，则移山填海之难，终有成功之日；吾心信其不可行，则反掌折枝之易，亦无收效之期也。”同学们必将珍惜韶华，奋勇拼搏，在产业一线海阔天空的想，脚踏实地的干，努力使自己成为破解集成电路“卡脖子”问题、推动集成电路领域源头创新的奋进者、开拓者、奉献者，为实现中国梦贡献智慧和力量。

 

来源：上观新闻

上海微技术工业研究院、上海大学微电子学院