浙大团队研发微缩LED 缩小尺寸达新的极限值

中国青年报客户端讯（中青报•中青网记者 李剑平）北京时间3月20日, 《自然》刊发浙江大学光电科学与工程学院/海宁国际联合学院狄大卫教授、赵保丹研究员团队研发微缩LED的相关成果。浙大团队研发的微米和纳米钙钛矿LED达到了传统LED难以触及的——90nm尺寸新极限，同时“降尺度”过程仅造成微弱的性能损耗。

目前，世界先进的显示技术是基于III-V族半导体的micro-LED。狄大卫介绍，micro-LED通过缩小LED的尺寸，可实现超高清、高精度的光电显示。不过，当像素尺寸减小到约10微米或更小时，micro-LED的效率会急剧下降。

狄大卫团队从三五族半导体micro-LED的微型化研究中得到启发，开始研制用于未来显示技术的更小钙钛矿LED，并首次提出“微型钙钛矿LED（micro-PeLED）”概念，获得国家、国际专利。

“对钙钛矿LED进行微型化不能沿用micro-LED技术，且传统的光刻工艺会破坏钙钛矿材料。”狄大卫说。他们团队设计了一套局域接触工艺，能够在附加绝缘层中引入由光刻制作的图案化窗口，以确保像素区域远离电极边缘。这一工艺有效保证LED的发光效率，可制造像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED。

狄大卫说，研究成果中展示的nano-PeLED最小可达到90纳米，研究团队创建的具有127000 PPI超高分辨率的LED像素阵列也摘得所有类型LED阵列最高分辨率的纪录。目前，浙大研发团队与杭州领挚科技携手制作由TFT背板驱动的有源矩阵micro-PeLED微显示器原型，能够呈现复杂的图像和视频，将应用在下一代光源技术和AR/VR显示领域。